贵金属合金熔炼铸锭成型 四元以内合金 质地均匀
价格 | 商议 |
计量单位 | 克 |
目前制备靶材的方法主要有铸造法和粉末冶金法。
铸造法;将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金熔液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材。铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。其优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化;缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。
例如Ag合金靶材(主图银白色为锡银铜合金,橙红色为铜银合金)
Ag靶材主要应用于光反射性薄膜,在Ag合金中添加少量的In、Sn、Zn或Au、Pd、Pt,或根据情况添加少量的Cu,可将低溅射靶材电阻,提高靶材图案形成性、耐热性、反射率和耐硫化性等。
采用燃气炉、高频熔炼炉,在空气(或惰性气体环境或真空下)冶炼、制备Ag合金靶材,熔炼温度为1 000~1 050℃。
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