GP-16型激光陀螺超高真空排气台
GP-16型激光陀螺超高真空排气台
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1.概述
GP-16型激光陀螺超高真空排气台是一台专用设备。
2.结构
该设备整机和电气控制结构分离独立操作,电气操作控制采用触屏加PLC模式,使设备整体更加简洁、美观、操作更加方便。
2.1主机及真空系统
主机的前级真空系统由VRD-16直联泵、电磁真空阀以及真空管道等组成。在前级真空管路中还安装有热偶规来检测前级真空系统的真空度。并设置有检漏仪接口,便于对真空系统检漏。
主机的主抽系统由分子泵、钛升华泵、CD-J63C型超高真空阀门、CD-J40C型超高真空阀门及真空管路组成,工位数量16个,排布成左右对称,通过阀门可独立控制。各个工位配有CD-J16C真空阀门单独来控制,对工件进行排气及充气等。在系统的真空管路中安装有一只ZJ-12型热阴极电离规来检测系统的真空度。左右各安装有五个控制气体流量的充气调节阀。
FF-160U复合分子泵在抽气过程中起着主抽泵作用,TSH型钛升华泵起着提高系统极限真空的作用。
3.4电气控制部分
GP-16型激光陀螺超高真空排气台的电气控制部分是采用独立的电控柜。控制采用触屏加PLC模式,电气操作都集中在触屏上完成,简化整体布局,方便操作。具备超温、断水、分子泵故障报警。