双坐标滑轨
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（1）目标在二维铅垂平面内平稳移动，水平行程：3m，垂直行程1.5m；
（2）预置稳态误差：优于1mm（水平和垂直方向）；
（3）位置读出精度：优于0.1mm（水平和垂直方向）；
（4）最大线速度：优于2m/s（水平方向）；优于优于1m/s（垂直方向）
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